爪型干式无油真空泵在泵腔内具有若干组相互啮合的爪型转子。转子与转子之间及转子与泵腔之间并不接触，留有微小的间隙，不用任何润滑剂，从而保证了清洁的真空环境。泵的结构采用多级转子窜连的形式，每组转子分别位于不同泵腔做同步反方向运动。泵腔被爪型转子分隔为吸气腔和排气腔两部分。随着转子连续运转，进行循环的吸气排气过程，实现了泵连续抽气的目的。

上图为罗茨转子由0°到360°的抽气过程。在0°位置时（图a），进排气道关闭，吸气腔与排气腔沟通，泵腔内压力均衡相等。当两个转子旋转到50°时（图b），形成负压腔，进气道打开，正压腔压力逐渐提高。工作过程中，此位置是转子正好处于换向泵腔压力平衡的瞬间，转子从该位置再转过一定角度，则转子开始密封分割为吸气腔与压缩排气腔两部分，此时开始做功。此位置进气口打开，随着转子的继续旋转负压腔容积逐渐增大开始吸气，排气腔容积逐渐减小，由于排气口尚未打开，因此气体被压缩，压缩量随排气口上线位置的变化而变化。当转子旋转到155°时，此时负压腔继续进气，排气道打开，开始排气。此位置时泵的吸气做功继续进行，排气口开始打开，被压缩的气体快速排入下一级泵腔。当转子旋转到312°时，进排气口关闭。此位置转子做功以完成一个周期，此时泵腔内压力逐渐恢复均衡状态。（图d）此位置又回到初始位置，随着泵转子的连续旋转，吸气和排气过程循环进行，实现了泵的连续抽气做功，实现了抽真空的目的。转子没转一周，吸气和排气各进行一次。

　　1) 泵腔内不含油类等任何介质、清洁抽空，对环境无污染；

　　2) 真空度高，可达3Pa；

　　3) 结构简单，易于操作和维护，运行成本低；

　　4) 能在较高压力下长期连续工作，噪声小；

　　5) 能抽除腐蚀性气体、有毒气体、易燃易爆气体、放射性气体、含有尘埃 的气体和可凝性气体（例如水蒸气、有机气体等）；

　　6) 能做气体传输泵使用，压缩比良好，可达10-105；

　　7) 转子对悬浮在泵腔内，转子对间，转子与泵腔间不接触，无摩擦，使用 寿命长。

石化行业：

　　（1）能抽除酸性气体:如四氢呋喃等。（2）能抽除可凝性气体：如酒精、汽油等。（3）能抽除易燃易爆气体：如氧气、氢气、甲烷等。（4）防腐系列能抽除强酸性气体：如氯化氢气体、氟化氢气体、硫酸气体等。

医药行业：

　　结晶、蒸馏、升华、干燥、脱臭、聚合、真空蒸发、负压过滤、单体回收、吸附/脱附、物料输送腐、蚀性介质、环氧乙烷消毒等。

食品行业：

升华、干燥、脱水、真空蒸发、真空保鲜、真空包装等。

科研院所：

旋蒸、蒸馏、精馏、聚合、负压抽滤、真空干燥、中试装置、风洞试验、真空环境模拟等。

电子光伏：浸渍、真空镀膜、离子刻蚀、分子束外延等。

航天航空：钎焊、真空镀膜、电子束焊、风洞试验、空间环境模拟等。

冶金行业：浸渍、挤出、真空镀膜、离子刻蚀、泥料脱气、钢水脱气、分子束外延等。

核工业：零泄露爪泵可抽除UF6气体

其它行业：中央空调、室内真空、污水处理、锂电池制造等。

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